氧化镁(MgO)-薄膜衬底

薄膜衬底氧化镁(MgO)单晶是一种优质的衬底材料,具有优异的物理化学性能,如高熔点、低介电常数和损耗、良好的晶格匹配性等。它广泛应用于高温超导、铁电薄膜、磁学薄膜等多种薄膜技术的制造中,以其卓越的稳定性和透明度,为高质量薄膜的生长提供了理想的基础。

主要优点:介电常数小和损耗低,优异的物理化学性能,晶格匹配性好,大面积可用性,应用广泛,改善器件性能,高质量的单晶基片。

应用领域:制作高温超导微波滤波器,适用于制作磁学薄膜,可作为高温高精度光学材料,高温绝缘材料,光学陶瓷,半导体材料等领域的衬底材料。

 

氧化镁(MgO)单晶作为薄膜衬底具有介电常数小、损耗低、优异的物理化学性能、良好的晶格匹配性、大面积可用性、广泛的应用范围以及能够改善器件性能等显著优点。这些优点使得MgO单晶成为薄膜技术领域不可或缺的重要材料。

氧化镁(MgO)单晶作为薄膜衬底材料,具有一系列优异的物理和化学性质,以下是关于其的详细介绍:

晶体结构

氧化镁(MgO)单晶属于立方晶系,其晶格常数a=4.130Å。这种结构使得MgO单晶具有高度的对称性和稳定性。

化学成分与纯度

MgO单晶主要由氧化镁(MgO)组成,纯度通常达到95%以上,保证了材料的高质量和性能。

物理性质

熔点:氧化镁单晶的熔点高达2800℃,显示了其卓越的高温稳定性。

热膨胀系数:热膨胀系数较小,为2×10-6/℃,这有助于在高温下保持材料的稳定性。

硬度:莫氏硬度为5,属于相对较硬的材料。

光学透过性:在宽波长范围内具有良好的透明性,尤其是在200400nm和5001000nm波段,光学透过率分别超过90%和98%。

化学性质

氧化镁单晶具有优异的化学稳定性,不易与其他物质发生化学反应。

它还表现出良好的电绝缘性能,因为其晶格结构中没有自由电子,对电流的传导能力极低。

应用特性

由于MgO单晶在微波波段的介电常数和损耗都很小,且能得到大面积的基片(直径2英吋及更大),它成为当前产业化的重要高温超导薄膜单晶基片之一。

适用于制作磁学薄膜、半导体薄膜、光学薄膜和高温超导薄膜等。

在移动通讯设备所需的高温超导微波滤波器等器件的制造中,MgO单晶基片也发挥着重要作用。

应用领域:

氧化镁(MgO)单晶作为薄膜衬底,在多个领域有着广泛的应用,以下是对其应用领域的清晰描述:

高温超导薄膜:

MgO单晶在微波波段的介电常数和损耗都很小,且能得到大面积的基片(直径2英吋及更大),使其成为当前产业化的重要高温超导薄膜单晶基片之一。

可用于制作移动通讯设备所需的高温超导微波滤波器等器件,对于高温超导技术的商业化应用具有重要意义。

磁学薄膜:

MgO单晶基片具有优异的物理和化学稳定性,适用于制作磁学薄膜。

这些磁学薄膜在数据存储、磁传感器等领域有着广泛的应用。

半导体薄膜:

作为半导体薄膜的衬底材料,MgO单晶可以提供高质量的晶体结构,有助于提升半导体器件的性能。

广泛应用于半导体电子设备生产中,如电容器、晶体管等,确保元器件在高温环境中的工作稳定性和可靠性。

光学薄膜:

MgO单晶在光学波段具有良好的透明性,适用于制作光学薄膜。

这些光学薄膜在激光器、光学传感器、光学滤波器等领域发挥着重要作用。

高温器件生长基片:

由于其高熔点和优异的化学稳定性,MgO单晶也用作高温器件(如超导量子器件、CT、通讯等)的生长基片。

其他领域:

还可作为高温高精度光学材料(航空、航天、激光制导、军工)、等离子显示器薄膜(平板显示器PDP、手机和电视机屏)、高温坩埚材料(中子检测、冶金行业)、高温绝缘材料、光学陶瓷、半导体材料(底衬、传感器)等领域的衬底材料。

主要优点:

氧化镁(MgO)单晶作为薄膜衬底的主要优点如下:

介电常数小和损耗低:

MgO单晶在微波波段的介电常数和损耗都非常小,ε=9.65(介电常数),这使得它成为当前工业化的重要高温超导薄膜单晶基片之一。低损耗特性对于提高微波器件的性能至关重要。

优异的物理化学性能:

MgO单晶具有良好的透明性,能透过紫外至红外的宽频段光谱。

熔点高达2800℃,具有极高的耐高温性能。

电介质强度高,硬度高,热稳定性和化学稳定性好。

晶格匹配性好:

MgO单晶的晶格结构与一些重要的薄膜材料(如镍铁氧体和高温超导材料)相似,这有助于降低薄膜生长过程中的晶格失配问题,从而获得更高质量的薄膜。

大面积可用性:

MgO单晶基片可以获得大面积的衬底,直径为2英寸或更大,满足大规模生产的需求。

应用广泛:

MgO单晶基片广泛应用于制作铁电薄膜、磁学薄膜、光点薄膜和高温超导薄膜等,是多种薄膜技术的理想衬底材料。

改善器件性能:

由于其高的电介质常数,MgO单晶可以作为栅极介质在金氧半(MOS)器件中使用,以改善器件性能。

高质量的单晶基片:

MgO单晶基片具有高度的晶体完整性,保证了薄膜生长的质量。

氧化镁(MgO)基本参数表格

一、基本信息

参数 数值或描述
分子式 MgO
分子量 40.304 g/mol
CAS号 1309-48-4

二、物理性质

参数 数值或描述
外观 白色粉末
密度 3.58 g/cm³
熔点 2852 °C
沸点 3600 °C
溶解度 在水中微溶,在酸和铵盐溶液中溶解
折射率 1.736

三、化学性质

参数 数值或描述
化学稳定性 稳定
与其他物质的反应 与三氟化溴、三氯化溴、五氯化磷不相容

四、应用领域

应用领域 描述
高级润滑油加工 作为清洁剂、抑钒剂、脱硫剂
食品添加剂 用作色泽稳定剂、pH值调节剂
生物制药 用作抗酸剂、吸附剂等
电子材料 具有良好的导磁性和绝缘性,可用于制造陶瓷、搪瓷等