掺钇氧化锆（YSZ）单晶基片是一种具有高熔点、优异机械和化学稳定性、低成本且易于加工的薄膜衬底材料，广泛应用于高温超导薄膜、陶瓷、耐火材料和固体氧化物燃料电池等领域。

主要优点：机械和化学稳定性好,成本低廉,物理性能出色,介电常数高,适用广泛,尺寸和抛光精度高,易于加工。

应用领域：是最早应用于高温超导薄膜的材料之一,在SOFC系统中用作电解质材料,YSZ用于氧传感器,在生物医学领域有重要应用，如制造人工骨、人工关节等医疗器械。