氧化锌（ZnO）薄膜衬底以其优异的光学、电学和压电性能在多个领域具有广泛应用。它具有良好的可见光透过率、宽带隙和高的化学稳定性，适用于制作高性能的光电器件、传感器和表面声波器件等。

主要优点：光学性能优异,电学性能可调,压电和机电性能良好,化学稳定性高,制备简单且兼容性好,应用前景广阔。

应用领域：紫外及可见光发光材料,高电场设备和高温高能电子器件,为高频通信提供高质量的衬底材料,可用于制作透明电极等关键部件,可用于制作表面型气敏元件等。