Superpolished Substrates and Mirrors-超抛光基板和反射镜
超抛光基板是通过精密抛光工艺处理的基板,具有极高的表面光洁度和平整度。其表面粗糙度可达到纳米级别,如Ra0.008μm的超高表面粗糙度,适用于微电子、光学、半导体等领域。超抛光基板不仅具有优异的电气性能,如低电阻率和高导电性,还有助于实现更密集的电路设计和更薄的金属化层,从而提高电路的性能和可靠性。
反射镜是一种利用反射定律工作的光学元件,具有高反射率和明亮的成像效果。反射镜的反射率通常可达到95%以上,能够精确地反射光线,确保光线的方向和角度符合需求。此外,反射镜还具有广阔的视场和稳定的光学性能,可在汽车、航空航天、科研等领域发挥重要作用。其制作材质多样,如金属、玻璃等,且可以通过真空镀膜等工艺来提高反射率和稳定性。
超抛光基板的主要优点:
高表面光洁度、优异的电气性能、有利于更密集的电路设计、改善掩模图案转移、获得更薄的金属化层
反射镜的主要优点:高反射率、明亮清晰的成像、视场广阔、便于调节、光学性能稳定。
主要应用领域:通信行业、航空航天领域、科学研究、汽车领域、能源领域。