5-50 μm LTOI, LNOI, Quartz on Si-5-50微米LTOI、LNOI、石英/硅复合结构
该复合结构由多层材料组成,包括LTOI、LNOI和石英,这些材料都被加工成超薄形态,并精确地堆叠在硅基底上。每一层的厚度都严格控制在5-50微米的范围内,以确保结构的整体性能和稳定性。这种复合结构结合了各种材料的优点,如高光学质量、优异的机械性能和良好的热稳定性。
优点:高光学质量 优异的机械性能 良好的热稳定性 可定制性
应用领域:作为光波导、光学滤波器等关键元件,用于光纤通信和光网络,利用复合结构的光学特性,开发高灵敏度的光学传感器,用于环境监测、生物医学等领域。