5-50 μm LTOI, LNOI, Quartz on Si-5-50微米LTOI、LNOI、石英/硅复合结构

该复合结构由多层材料组成，包括LTOI、LNOI和石英，这些材料都被加工成超薄形态，并精确地堆叠在硅基底上。每一层的厚度都严格控制在5-50微米的范围内，以确保结构的整体性能和稳定性。这种复合结构结合了各种材料的优点，如高光学质量、优异的机械性能和良好的热稳定性。

优点：高光学质量优异的机械性能良好的热稳定性可定制性

应用领域：作为光波导、光学滤波器等关键元件，用于光纤通信和光网络，利用复合结构的光学特性，开发高灵敏度的光学传感器，用于环境监测、生物医学等领域。

这是一种由超薄LTOI（LiTaO3）、LNOI（LiNbO3）和石英层堆叠在硅基底上构成的复合结构，厚度范围在5-50微米之间。

详细描述：
该复合结构由多层材料组成，包括LTOI、LNOI和石英，这些材料都被加工成超薄形态，并精确地堆叠在硅基底上。每一层的厚度都严格控制在5-50微米的范围内，以确保结构的整体性能和稳定性。这种复合结构结合了各种材料的优点，如高光学质量、优异的机械性能和良好的热稳定性。

优点：

高光学质量：LTOI、LNOI和石英都是优秀的光学材料，具有出色的透光性和低光学损耗。

优异的机械性能：硅基底提供了良好的机械支撑，使得复合结构具有出色的稳定性和耐久性。

良好的热稳定性：该复合结构能够在较宽的温度范围内保持稳定的性能。

可定制性：通过调整各层的厚度和组合，可以优化复合结构的光学、机械和热性能，以满足特定的应用需求。

应用领域：

光学通信：作为光波导、光学滤波器等关键元件，用于光纤通信和光网络。

集成光学：在集成光学芯片和光电子集成电路中作为基本结构，用于实现光信号的传输、处理和检测。

传感器技术：利用复合结构的光学特性，开发高灵敏度的光学传感器，用于环境监测、生物医学等领域。

光学存储和显示：作为光学存储介质和显示技术的核心组件，用于高密度数据存储和高清显示。

基本参数表格：