LNOI- Ultra-thin LiNbO3 film (300-900nm)-LNOI-超薄LiNbO3薄膜(300-900nm)

该薄膜由高纯度的LiNbO3材料制成,经过先进的加工技术,厚度精确控制在300-900纳米范围内。其表面质量高,光滑且无瑕疵,具有优异的光学透明度和低的光学损耗。同时,它还表现出良好的电学性能和机械强度,使得它在光学、电子和微电子领域具有广泛的应用潜力。

优点:超薄设计 优异的光学性能 良好的电学性能 高机械强度

应用领域:在集成光学芯片和光电子集成电路中作为基本结构,用于实现光信号的传输、处理和检测,利用其优异的电学和光学性能,开发高灵敏度的光学传感器。

LNOI-超薄LiNbO3薄膜是一种厚度在300-900纳米之间的铌酸锂(LiNbO3)薄膜,具有出色的光学、电学和机械性能,适用于多种高精度应用。

详细描述
该薄膜由高纯度的LiNbO3材料制成,经过先进的加工技术,厚度精确控制在300-900纳米范围内。其表面质量高,光滑且无瑕疵,具有优异的光学透明度和低的光学损耗。同时,它还表现出良好的电学性能和机械强度,使得它在光学、电子和微电子领域具有广泛的应用潜力。

优点

超薄设计:厚度仅300-900纳米,适用于需要小型化和集成化的应用。

优异的光学性能:具有高透光性和低光学损耗,适用于光学通信和光学存储等领域。

良好的电学性能:适用于高频电子和微电子应用领域。

高机械强度:尽管厚度超薄,但仍保持良好的机械强度和稳定性,易于加工和处理。

应用领域

光学通信:作为光波导、光学调制器等元件,用于光纤通信和光网络。

集成光学:在集成光学芯片和光电子集成电路中作为基本结构,用于实现光信号的传输、处理和检测。

传感器技术:利用其优异的电学和光学性能,开发高灵敏度的光学传感器。

光学存储:作为光学存储介质的薄膜层,用于高密度数据存储。

基本参数表格

参数 数值/描述
晶体结构 三方晶系,点群:3m
晶格常数 a=5.148, c=13.863
密度 4. 64g/cm3
熔点 1250℃
居里温度 1142±2℃
硬度 5
介电常数 ε11/ε0=85; ε33/ε0=29.5
热导率 38w/m/k at25℃
热膨胀系数 a1=a2=2×10-6/℃,a3=2.2×10-6/°Cat25℃
压电常数 d22-2.04×10-11C/N, d33=0.6X10-11C/N, d15=7×10-11C/N, d31=-0.1X10-11C/N
弹性常数 C11=2.04×1011 N/m2, C33=2.46x1011N/m2
常规晶向 (0001),(1120),(1010)
晶向公差 ± 30 arcmin
常规尺寸 10×10, Φ2″, Φ3”
抛光情况 双面抛光
表面粗糙度 <5Å