Photolithographic Multispectral Filters-光刻多光谱滤波器

光刻多光谱滤波器是一种采用光刻和镀膜复合工艺制作的高性能光学元件，它能够同时处理多个光谱波段，并实现高精度的光谱分离。

详细描述：
光刻多光谱滤波器是通过光刻技术在玻璃基片上精确制作出不同谱段的滤光图案，再结合高透过深截止的镀膜技术，在每个图案区域内镀制相应的高性能滤光薄膜。这种滤光片通常由两层玻璃片胶合而成，采用不同谱段的窄条带滤光片按顺序紧密拼接粘贴的设计方案。这种设计使得多个滤光通道能够集成在单一基片上，且空间位置对准精度极高。

优点：

多光谱处理能力：能够同时处理多个光谱波段，满足复杂光谱分析的需求。

高精度制造：采用光刻和镀膜技术，制作精度高，确保滤光效果的准确性和稳定性。

高透过率与深截止：滤光片具有高透过率和深截止特性，能够有效分离不同波段的光线。

空间位置精度高：多个滤光通道集成在单一基片上，空间位置对准精度极高，有利于光谱成像的准确性和分辨率。

应用领域：

多光谱成像：用于空间多光谱成像、多光谱成像光谱仪等，能够捕捉和分析不同波段的光线信息。

科学研究：在科学实验中，光刻多光谱滤光片可以帮助科学家精确地分析和研究不同光谱的特性。

遥感探测：在遥感领域，该滤光片可用于地质勘测、环境监测等，提供多光谱数据支持。

生物医学：在生物医学领域，光刻多光谱滤光片可用于荧光显微镜等仪器，实现多波长荧光信号的分离和检测。

基本参数表格：

参数名称	参数描述
光谱范围	滤光片能够处理的光谱波段范围，如400nm~1000nm等。
透过率	光线通过滤光片的效率，通常以百分比表示。
截止深度	滤光片对非透过波段的阻止能力，即截止波段的光线透过率。
滤光通道数	集成在单一基片上的滤光通道数量。
尺寸与形状	滤光片的物理尺寸和形状，根据应用需求定制。
材质	滤光片的主要制造材料，通常为光学玻璃。
制作工艺	采用光刻和镀膜复合工艺制作。