Superpolished Substrates and Mirrors-超抛光基板和反射镜
超抛光基板是通过精密抛光工艺处理的基板，具有极高的表面光洁度和平整度。其表面粗糙度可达到纳米级别，如Ra0.008μm的超高表面粗糙度，适用于微电子、光学、半导体等领域。超抛光基板不仅具有优异的电气性能，如低电阻率和高导电性，还有助于实现更密集的电路设计和更薄的金属化层，从而提高电路的性能和可靠性。
反射镜是一种利用反射定律工作的光学元件，具有高反射率和明亮的成像效果。反射镜的反射率通常可达到95%以上，能够精确地反射光线，确保光线的方向和角度符合需求。此外，反射镜还具有广阔的视场和稳定的光学性能，可在汽车、航空航天、科研等领域发挥重要作用。其制作材质多样，如金属、玻璃等，且可以通过真空镀膜等工艺来提高反射率和稳定性。
超抛光基板的主要优点：
高表面光洁度、优异的电气性能、有利于更密集的电路设计、改善掩模图案转移、获得更薄的金属化层
反射镜的主要优点：高反射率、明亮清晰的成像、视场广阔、便于调节、光学性能稳定。
主要应用领域：通信行业、航空航天领域、科学研究、汽车领域、能源领域。
超抛光基板是通过精密抛光工艺处理的基板，旨在实现极高的表面光洁度和平整度。这种基板在微电子、光学、半导体等领域有着广泛的应用。
主要特性
表面光洁度高：超抛光基板的表面粗糙度可以达到纳米级别，提供了极高的光洁度和平整度。平整度好：经过超抛光处理，基板表面具有极高的平整度，有利于提升后续工艺的质量和稳定性。优异的电气性能：超抛光基板具有较低的电阻率和较高的导电性能，有利于电子信号的传输。
抛光技术
化学机械抛光（CMP）：这是一种常见的超抛光技术，通过化学腐蚀与机械去除相结合的方法，实现全局平坦化。CMP技术能够显著减少亚表面损伤，实现纳米级别表面精度和亚纳米级别表面粗糙度。其他抛光技术：还包括机械抛光、超声振动辅助磨料流抛光、电泳抛光、电解抛光以及磁流变抛光等。这些技术各有特点，可根据不同陶瓷基材的特性及表面处理要求进行选择。
反射镜
反射镜是一种利用反射定律工作的光学元件，广泛应用于汽车、航空航天、科研等领域。
主要特性
高反射率：反射镜具有较高的反射率，能够有效地将光线反射回去。精确反射：反射镜能够精确地反射光线，确保光线的方向和角度符合需求。稳定性好：反射镜具有较高的机械稳定性和热稳定性，能够在复杂环境中保持稳定的性能。
材质与工艺
材质：反射镜的材质多样，包括玻璃、金属等。其中，金属膜反射镜具有较高的反射率和稳定性，适用于宽谱光源光路偏转。
工艺：反射镜的制作工艺包括真空镀膜、离子辅助沉积、离子束溅射等。这些工艺能够确保反射镜表面的高反射率和稳定性。
主要优点
超抛光基板的主要优点
高表面光洁度：
超抛光基板通过精密抛光工艺，可以实现纳米级别的表面粗糙度，提供极高的光洁度和平整度。这对于需要高精度表面处理的微电子、光学等领域至关重要。
优异的电气性能：
超抛光基板具有较低的电阻率和较高的导电性能，有助于电子信号的传输。在集成电路、芯片等微电子器件的制造中，这种优异的电气性能是不可或缺的。
有利于更密集的电路设计：
抛光后的基板表面更加平滑，使得在基板上能够走更细的线条，实现更密集的电路设计。这对于提高电路的性能和可靠性具有重要意义。
改善掩模图案转移：
控制基板的凸度（平整度）极大地改善了照片掩模图案到基底表面的转移，从而允许更精细的线条和空间。
获得更薄的金属化层：
抛光减少了基板表面的峰跟谷的振幅，从而可以使用非常薄的金属化层。更薄的电阻层增加了材料的片电阻，这允许了在使用薄膜技术形成更高的电阻值。
反射镜的主要优点
高反射率：反射镜的反射率一般很高，可达到95%以上，这使得反射镜能够更好地反射光线，提高成像质量。
明亮清晰的成像：反射镜不会造成光线的衍射和散射，使得成像更加锐利和清晰。
视场广阔：反射镜可通过调整其曲率和形状来改变成像效果，因此其视场可以实现更广阔的范围。
便于调节：反射镜的曲率和形状可以根据需要进行调整，从而方便地改变成像效果。
光学性能稳定：反射镜具有良好的热稳定性和机械稳定性，能够在复杂环境中保持稳定的性能。
应用领域
通信行业：
在通信领域，反射镜主要用于卫星通信系统。通过精确控制反射镜的角度和形状，可以实现信号的定向传输和接收，提高通信的效率和稳定性。例如，在地面站和卫星之间建立通信链路时，反射镜可以确保信号的准确传输。
航空航天领域：
在航空航天领域，反射镜广泛应用于望远镜、卫星天线等设备。通过反射镜的聚焦和反射作用，可以实现远距离的目标观测和信号传输。在航天器的导航、定位和通讯中，反射镜提供了重要支持。
科学研究：
在科学研究中，反射镜也发挥着重要作用。例如，在天文观测中，反射望远镜利用反射镜聚焦光线，帮助科学家观测遥远的天体。此外，在物质分析中，反射镜还可以作为重要工具，如拉曼光谱仪中的反射镜可以分析样品的反射光谱，获取物质的组成和结构信息。
汽车领域：
在汽车领域，反射镜主要用于车灯和后视镜。车灯中的反射镜可以将光线聚焦到前方，提高夜间或恶劣天气下的能见度。后视镜则可以让驾驶员观察车辆周围的情况，提高驾驶安全性。
能源领域：
在能源领域，反射镜主要用于太阳能聚光发电。通过反射镜将太阳光聚焦到吸热器上，可以显著提高太阳能的利用率，降低太阳能发电的成本。
基本参数
| 材料规格 | ZnSe | ZnS | Ge, Si, CaF2, MgF2 | Fused Silica, BK7, Zerodur | Sapphire |
| 直径 | 最大Φ300mm | 最大Φ300mm | 最大Φ350mm | 最大Φ300mm | 最大Φ300mm |
| PV值 | PV≤0.1λ @ 632.8nm | PV≤0.1λ @ 632.8nm | PV≤0.1λ @ 632.8nm | PV≤0.15λ @ 632.8nm | PV≤0.1λ @ 632.8nm |
| rms值 | rms≤0.02λ @ 632.8nm | rms≤0.02λ @ 632.8nm | rms≤0.02λ @ 632.8nm | rms≤0.03λ @ 632.8nm | rms≤0.02λ @ 632.8nm |
| 表面粗糙度 | ≤0.2nm | ≤0.2nm | ≤0.1nm | ≤0.2nm | ≤0.2nm |
